Чистые помещения в электронной промышленности

Небывалое развитие в наши дни микроэлектроники и электронной промышленности повлекло за собой востребованность большого количества чистых помещений, которые необходимы для изготовления микросхем. Благодаря инновационным разработкам элементы существенно уменьшились в размерах, что вызывает трудности в устранении погрешностей в микросхемах. Их качество может снизиться при попадании на них пыли, загрязняющих веществ и т.д. Для того чтобы изготовить качественные изделия, требуются идеально чистые помещения, обеспечение чистоты воздуха, технологических жидкостей и газов.

Какие материалы и конструкции используются в производственных помещениях для предотвращения попадания загрязнений

К числу базовых элементов чистых помещений относят:

• стеновые конструкции. Так, доступ можно преградить с помощью светопрозрачных конструкций или панелей;
• герметичные потолки, в которые встраиваются источники света;
• полы с антистатическим покрытием;
• сложные вентиляционные системы, оборудованные приточно-вытяжными установками, воздухозаборными конструкциями, специальными датчиками, фильтрами и т.д.;
• воздушные шлюзы, предотвращающие проникновение в производственные зоны пылевых частиц и прочих загрязнений;
• передаточные окна, устанавливаемые между отдельными зонами, через которые подаются стерильные материалы, инструменты и изделия;
• устройства, с помощью которых осуществляется управление электронными системами.

Важно использовать такие стройматериалы и конструкции, которые не выделяют в окружающую среду вещества, способные оказать негативное влияние на производственные процессы.

Технологии создания оптимального микроклимата в чистых зонах

Важным аспектом эффективности чистых зон является поддержание в них постоянного уровня чистоты воздуха. С этой целью используются системы контроля и мониторинга, которые постоянно отслеживают качество воздушных масс и автоматически подстраивают работу систем очистки для поддержания в помещении оптимального микроклимата.

Очистка воздуха осуществляется на разных уровнях:

• фильтры задерживают частицы пыли и другие мельчайшие загрязнения;
• специальные системы очистки воздуха (например, системы УФ-облучения или электростатические фильтры) устраняют микроскопические остатки загрязнений, которым все же удалось проникнуть в воздух после первой ступени фильтрации.

Чистые помещения обеспечивают оптимальные условия для производства электронных компонентов, без них создание микросхем высокого качества не представляется возможным.

---

---

Главная - Микросхемы - DOC - ЖКИ - Источники питания - Электромеханика - Интерфейсы - Программы - Применения - Статьи